Die Darstellung von Ammoniumfluorid erfolgt durch Neutralisation von wässriger Ammoniaklösung mit Flusssäure und anschließender Kristallisation aus Wasser.
Ein heute nicht mehr angewandter Prozessschritt ist der sogenannte HF-Dip, bei dem die Wafer kurz in eine verdünnte (1–2 %) Flusssäure getaucht werden.
Bei der Verbrennung entstehen neben Kohlendioxid und Wasser auch Kohlenmonoxid, Schwefeloxide, Stickoxide, aber auch Chlorwasserstoffsäure (Salzsäure) und Fluorwasserstoff (Flusssäure) sowie Quecksilber und schwermetallhaltige Stäube.
Bringt man Urandioxid mit Flusssäure und Fluor zur Reaktion, entsteht Uranhexafluorid, aus welchem schließlich durch Reduktion mittels Calcium oder Magnesium reines Uran gewonnen wird.
