Taktile Messtechniken, wie mechanische Tastschnittgeräte, sind hierfür zu zeitaufwendig, da viele parallele Einzelprofilmessungen durchgeführt werden müssen.
Interferometrisch bzw. konfokal arbeitende Mikroskope hingegen sind zu empfindlich gegenüber Umgebungseinflüssen und daher in der Fertigung kaum einzusetzen.
Es wäre deshalb ein wichtiger und bedeutender Entwicklungsschritt für die Oberflächenmesstechnologie einen 3D-Sensor zur Verfügung zu haben, welcher die Anforderungen an Messgeschwindigkeit und Robustheit erfüllt.
www.mv.uni-kl.deTherefore tactile measurement techniques, like mechanical stylus instruments, are too time-consuming, because numerous parallel single profile measurements have to be executed.
Interferometrical or confocal microscopes on the other hand are too sensitive regarding environmental influences, so that they can barely be used in manufacturing.
Hence it would be an important and significant step in development for surface metrology to have access to a three dimensional sensor, which fulfils the requirements concerning measurement speed and robustness.
www.mv.uni-kl.deMikrodisplay-Konfokaltechno...
Die Mikrodisplay-Konfokaltechno... ermöglicht die gleichzeitige Abbildung des selben Ausschnitts konfokal und als Hellfeld-Abbildung.
Interferometrie PSI und VSI
www.leica-microsystems.comMicro display confocal technology
Micro display confocal technology – confocal and bright field imaging of the same area simultaneously.
Interferometry PSI and VSI
www.leica-microsystems.comDas System vermisst die Oberflächentopographie von großen Proben und korreliert diese mit der konfokalen Raman Mikroskopie.
Damit können sehr raue oder stark verkippte Proben exakt, automatisch und mühelos chemisch charakterisiert und konfokal dargestellt werden.
Der entscheidende Vorteil:
www.witec.deThe system measures the surface topography of large samples and correlates it with confocal Raman microscopy.
This allows very rough or heavily inclined samples to be chemically characterized precisely, automatically and easily while also being confocally imaged.
The decisive advantage:
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