Für technische Anwendungen am wichtigsten sind die piezoelektrischen Keramiken und unter diesen wiederum das Bleizirkontitanat, kurz PZT genannt.
Dieses Material ist kostengünstig herzustellen und hat gute piezoelektrische Kennwerte.
Die konventionellen Anwendungen im medizinischen Ultraschall nutzen Frequenzen bis 10 MHz.
www.ibmt.fraunhofer.deFor most technical applications the piezoelectric ceramics are the most important materials and amongst these the lead-titanate-zirconate ceramics, briefly called PZT.
These ceramics can be produced economically and have very good piezoelectric specifications.
The traditional application of ultrasound in medical diagnosis includes frequencies to 10 MHz.
www.ibmt.fraunhofer.deEin weiteres Verfahren zur Herstellung dünner piezoelektrischer Schichten ist die physikalische Gasphasenabscheidung von Zinkoxid Schichten, auch Sputtern genannt.
Zinkoxid weist deutlich niedrigere piezoelektrische Kennwerte als PZT auf, aber durch das Sputtern kann Zinkoxid leicht in mikrosystemtechnische Verfahrenstechniken integriert werden.
Mit Zinkoxidschichten können Frequenzen bis 2 GHz erzeugt werden.
www.ibmt.fraunhofer.deA further method to produce thin piezoelectric layers is the physical vapour deposition of thin zinc oxide layers.
This material has significant lower piezoelectric specifications than PZT, but it can be integrated in micro systemic processes with physical vapour deposition.
With zinc oxide layers frequencies to 2 GHz can be generated.
www.ibmt.fraunhofer.de( * ) Angabe nicht üblich Tabelle 8 :
Vergleich typischer mechanischer Kennwerte einiger Keramiken mit Grauguss und Baustahl
Tabelle 9:
www.keramverband.de( * ) Data not usually provided Table 8 :
A comparison of typical mechanical characteristics of some ceramics with grey cast-iron and construction steel
Table 9:
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