Advantage
Universell einsetzbar - unabhängig von Dichte und Dielektrizität des Mediums
Advantage
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Universally applicable - independent of density and dielectric constant of the medium
Advantage
www.vega.comDieses ist mit der MSP I Konfiguration bei moderater Mikrowellenleistung nicht zu betreiben.
Einfache FD Rechnungen zeigen, daß hierfür Saphir aufgrund seiner hohen Dielektrizität von er = 9.4 und ery = 11.6 besser geeignet ist als Quarz.
Es bewirkt eine Unterdrückung des elektrischen Feldes im Substrat und eine Erhöhung im Gaskanal.
www.hft.e-technik.tu-dortmund.deThis plasma can be operated in the MSP I configuration with a moderate power.
Simple FD calculations have shown that sapphire is superior to quartz because of the higher dielectric constant of εr = 9.4 compared to εry = 11.6.
This causes a suppression of the electrical field in the substrate and an increase in the gas conduit.
www.hft.e-technik.tu-dortmund.deEs basiert am einem Saphir Wafer mit einem runden Kanal.
Die hohe Dielektrizität des Saphirs bewirkt sowohl eine Verkleinerung des Mikrostreifenleitungslayouts als auch eine Verstärkung der elektrischen Felder im Kanal.
Der Bereich der Betriebsparameter erstreckt sich für Helium von 50 – 1000 ml · min-1 bei Vorwärtsleistungen von 8 – 30 W.
www.hft.e-technik.tu-dortmund.deIt is based on a sapphire wafer with a round conduit.
The high dielectric constant of sapphire leads to a miniaturization of the micro-strip waveguide layout and an increment of the electrical field in the conduit.
The operational area for helium is 50 – 1000 ml · min-1 at a power of 8-30 W.
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