Verfahrensfehler sind Fehler im Druckbild, die durch technische Fehler, Bedienungsfehler, nicht optimal aufeinander abgestimmte Abläufe oder mangelnde Sorgfalt in der Produktion entstehen.
Probleme, die im späteren Routinebetrieb auftreten, sind meist auf Bedienungsfehler, auf unwissentliche Veränderung von Basis-Prozessparametern oder falsche Wahl des Ätzmediums zurückzuführen.