EUV Optics
For the production of high EUV energy densities a modified Schwarzschild objective for 13.5 nm radiation has been developed within the BMBF project KOMPASS ("Kompakte Strahlquelle hoher Brillanz für den weichen Röntgen-Spektralbereich").
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Zur Erzeugung hoher Energiedichten im EUV-Bereich wurde im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts KOMPASS „Kompakte Strahlquelle hoher Brillanz für den weichen Röntgen-Spektralbereich“ ein Schwarzschild-Objektiv für die EUV-Quelle entwickelt.
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