Gefährlich ist vor allem inhaliertes Beryllium oder inhalierte Berylliumsalze – insbesondere Berylliumfluorid oder Berylliumoxid in hoher Konzentration.
Diese Partikel werden zudem von Lebewesen inhaliert und können in die Atmungsorgane eindringen, wo sie u. U. gesundheitliche Schäden verursachen können.