Geeignet sind Elektronenmikroskope und Rastersondenmethoden wie das Rastertunnelmikroskop oder das Rasterkraftmikroskop, mit welchen sich unter günstigen Bedingungen eine atomare Auflösung erzielen lässt.
Direkte Verfahren sind die Vermessung der Oberfläche mit rastermikroskopischen Instrumenten wie dem Rastertunnelmikroskop oder dem Rasterkraftmikroskop in atomarer Auflösung.
Auf Grund der geringen Strukturgrößen des Stempels kann zu dessen Qualitätskontrolle kein Rasterkraftmikroskop verwendet werden, da auf Grund der Größe der Messspitze die Bildgrößen nicht korrekt wiedergegeben werden.
